Ultraviolett termisk bearbetning

Ultraviolett termisk bearbetning eller UVTP är namnet på processen att använda ultraviolett ljus för att stabilisera dielektriska filmer som används för att isolera halvledare.

Beskrivning

Halvledarfilmer behöver låga dielektriska konstanter (k-värden) för optimal värmeledningsförmåga , för att säkerställa halvledarskalning . Nyare dielektriska filmer som används för att isolera moderna chips kan lätt skadas, vilket gör att de förlorar sin isoleringsförmåga. Specialiserade behandlingar applicerade med ultraviolett ljus förbättrar chipprestandan. Volframhalogenlampor är de källor som används för traditionell snabb termisk bearbetning.