Nano och Micro Devices Center
 | |
| Typ | Forskningscenter |
|---|---|
| Etablerade | 2008 |
| Ordförande | Robert Lindquist |
| Direktör | John D. Williams |
Akademisk personal |
10 |
Administrativ personal |
6 |
| Forskarutbildade | 16 |
| Plats |
,
Koordinater : |
| Campus | University of Alabama i Huntsville huvudcampus |
| Hemsida | http://nmdc.uah.edu |
Nano and Micro Devices Center (NMDC) är ett forskningscenter beläget vid University of Alabama i Huntsville . Centret utgör ryggraden i nanoteknologisk forskning vid universitetet. Den driver ett renrum på nivå 4 samt flera andra labbanläggningar.
Mål
Målet med centret är att effektivt integrera expertis inom elektrisk, kemi och materialteknik, biologi, kemi och fysik mot utveckling och forskning inom områdena mikroelektromekaniska system (MEMS) och nanoteknik.
Faciliteter
Centret driver ett renrum som är utrustat med mikrotillverkningsmaskiner som utför tunnfilmsavsättning, fotolitografi, torr- och våtetsning och metrologimätningar. Den driver också ett mörkt rum för våtetsning, galvanisering och porös kiseltillverkning. Anläggningarna används av organisationer baserade i norra Alabama . Processerna som utförs i en sådan renrumsnivå kan klassificeras i:
- Litografi : processerna under denna kategori inkluderar konventionella UV-litografiska tekniker, elektronstrålelitografi och projektionslitografi.
- Materialavsättningsprocesser : under denna kategori faller processerna för sputtering, termisk ångavsättning och elektroplätering, andra tekniker för att deponera biologiska molekyler och dubbelskiktsmembran inkluderar Langmuir-Blodgett-tekniken.
- Materialborttagningsprocesser : dessa inkluderar torretsning såsom reaktiv jonetsning, eller våtetsning såsom anisotropisk etsning av kisel i ett KOH-bad.
- Ytanalys och karakterisering : såsom atomkraftsmikroskopi, svepelektronmikroskopi, konfokalmikroskopi, ellipsometri, UV-, IR- och Ramanspektroskopi, röntgenspektroskopi och andra tekniker.
- Datoranvändning