Magnetolitografi

Magnetolitografi (ML) är en fotoresistfri och fotomasklös litografimetod för mönstring av waferytor . ML baserat på att applicera ett magnetiskt fält på substratet med hjälp av paramagnetiska metallmasker benämnda "magnetisk mask" placerade på antingen ovan- eller baksidan av skivan. Magnetiska masker är analoga med en fotomask inom fotolitografi, genom att de definierar den rumsliga fördelningen och formen av det applicerade magnetfältet. Tillverkningen av de magnetiska maskerna involverar emellertid användningen av konventionell fotolitografi och fotoresist. Den andra komponenten i processen är ferromagnetiska nanopartiklar (analoga med fotoresisten i fotolitografi, t.ex. koboltnanopartiklar ) som sätts samman över substratet enligt det fält som induceras av masken som blockerar dess områden från räckhåll för etsmedel eller avsättningsmaterial (t.ex. dopämnen eller metalliska skikt).

ML kan användas för att tillämpa antingen ett positivt eller negativt förhållningssätt. I det positiva tillvägagångssättet reagerar de magnetiska nanopartiklarna kemiskt eller interagerar via kemisk igenkänning med substratet. Därför immobiliseras de magnetiska nanopartiklarna på utvalda platser, där masken inducerar ett magnetfält, vilket resulterar i ett mönstrat substrat. I det negativa tillvägagångssättet är de magnetiska nanopartiklarna inerta mot substratet. Så snart de mönstrar substratet, blockerar de deras bindningsställe på substratet från att reagera med ett annat reagerande medel. Efter adsorptionen av det reagerande medlet avlägsnas nanopartiklarna, vilket resulterar i ett negativt mönstrat substrat.

ML är också en baksideslitografi , som har fördelen av att det är lätt att producera flerlager med hög inriktningsnoggrannhet och med samma effektivitet för alla lager.

•    Bardea, Amos; Burshtein, Noa; Rudich, Yinon; Salame, Tomer; Ziv, Carmit; Yarden, Oded; Naaman, Ron (2011-12-15). "Känslig upptäckt och identifiering av DNA och RNA med hjälp av ett mönstrat kapillärrör". Analytisk kemi . American Chemical Society (ACS). 83 (24): 9418–9423. doi : 10.1021/ac202480w . ISSN 0003-2700 . PMID 22039991 .
•    Bardea, Amos; Naaman, Ron (2010). "Magnetolitografi". Framsteg inom bildbehandling och elektronfysik . Vol. 164. Elsevier. s. 1–27. doi : 10.1016/b978-0-12-381312-1.00001-8 . ISBN 978-0-12-381312-1 . ISSN 1076-5670 .
•    Kumar, Tatikonda Anand; Bardea, Amos; Shai, Yechiel; Yoffe, Alexander; Naaman, Ron (2010-06-09). "Mönstrade gradientegenskaper från submikrometrar till millimeter med magnetolitografi". Nanobokstäver . American Chemical Society (ACS). 10 (6): 2262-2267. Bibcode : 2010NanoL..10.2262K . doi : 10.1021/nl1013635 . ISSN 1530-6984 . PMID 20491500 .
•    Bardea, Amos; Baram, Aviad; Tatikonda, Anand Kumar; Naaman, Ron (2009-12-30). "Magnetolitografiskt mönster av inre väggar i ett rör: en ny dimension i mikrofluidik och sekventiella mikroreaktorer". Journal of the American Chemical Society . American Chemical Society (ACS). 131 (51): 18260–18262. doi : 10.1021/ja908675c . ISSN 0002-7863 . PMID 19961172 .
•    Bardea, Amos; Naaman, Ron (2009-05-19). "Submikrometer kemiskt mönster med hög genomströmning med hjälp av magnetolitografi". Langmuir . American Chemical Society (ACS). 25 (10): 5451–5454. doi : 10.1021/la900601w . ISSN 0743-7463 . PMID 19382781 .
•    Bardea, Amos; Naaman, Ron (2009-02-06). "Magnetolitografi: Från Bottom-Up Route till High Throughput". Liten . Wiley. 5 (3): 316–319. doi : 10.1002/smll.200801058 . ISSN 1613-6810 . PMID 19123174 .