Nanokanalglasmaterial
Nanokanalglasmaterial är en experimentell maskteknologi som är en alternativ metod för att tillverka nanostrukturer , även om optisk litografi är den dominerande mönstringstekniken.
Nanokanalglasmaterial är komplexa glasstrukturer som innehåller ett stort antal parallella ihåliga kanaler. I sin enklaste form är de ihåliga kanalerna anordnade i geometriska grupperingar med packningsdensiteter så stora som 1011 kanaler /cm 2 . Kanaldimensioner är kontrollerbara från mikrometer till tiotals nanometer, samtidigt som de bibehåller utmärkt kanallikformighet. Exakta kopior av kanalglaset kan tillverkas av en mängd olika material. Detta är en lågkostnadsmetod för att skapa identiska strukturer med nanoskala funktioner i stort antal.
Egenskaper
Dessa material har hög densitet av enhetliga kanaler med diametrar från 15 mikrometer till 15 nanometer. Dessa är stela strukturer med funktionsdugliga temperaturer till minst 300 °C, med potential upp till 1000 °C. Dessutom är dessa optiskt transparenta fotoniska strukturer med hög grad av reproducerbarhet.
Ansökningar
Dessa kan användas som material för kromatografiska kolonner , enkelriktade ledare , mikrokanalplatta och olinjära optiska enheter . Andra användningsområden är som masker för halvledarutveckling , inklusive jonimplantation, optisk litografi och reaktiv jonetsning .
Se även
- E-beam litografi
- Jonstrålelitografi
- Masklös litografi
- Nanolitografi
- Fotolitografi
- Poröst glas
- Vycor glas
Vidare läsning
- Bryant, Garnett W.; Liu, Ansheng (1999). "Närfältsskanning optisk mikroskopi avbildning: teori, simulering och experiment" ( PDF) . I Band, Yehuda B (red.). SPIE:s förfarande . Optisk puls- och strålutbredning. Vol. 3609. s. 67–75. doi : 10.1117/12.351044 . Arkiverad från originalet (PDF) 2012-03-17.
- Pearson, DH; Tonucci, RJ (1995). "Nanokanal-glasreplikamembran". Vetenskap . 270 (5233): 68. Bibcode : 1995Sci...270...68P . doi : 10.1126/science.270.5233.68 . S2CID 220110394 .
- US-patent 5 976 444 " Nanokanal-glasreplikamembran "