Journal of Vacuum Science and Technology
| Disciplin | Fysik |
|---|---|
| Språk | engelsk |
| Redigerad av | Eray Aydil |
| Publiceringsinformation | |
| Historia | 1964 – nutid |
| Utgivare |
American Institute of Physics på uppdrag av American Vacuum Society (USA) |
| Frekvens | Varannan månad |
|
2,427 (Del A ) 1,416 (Del B ) (2020) |
|
| Standardförkortningar | |
| ISO 4 | J. Vac. Sci. Technol. |
| Indexing | |
Journal of Vacuum Science and Technology | |
| ISSN |
0022-5355 |
Journal of Vacuum Science and Technology A | |
| CODEN | JVTAD6 |
| ISSN |
0734-2101 (tryck) 1520-8559 (webb) |
| LCCN | 83643441 |
| OCLC nr. | 08697396 |
Journal of Vacuum Science and Technology B | |
| CODEN | JVTBD9 |
| ISSN |
0734-211X |
| LCCN | 83642371 |
| OCLC nr. | 08697479 |
| Länkar | |
Journal of Vacuum Science and Technology är en peer-reviewed vetenskaplig tidskrift publicerad i två delar, A och B , av American Institute of Physics på uppdrag av American Vacuum Society . Det grundades 1964 och chefredaktören är Eray Aydil ( University of Minnesota) .
Historia
- 1964–1982 Journal of Vacuum Science and Technology
- 1983–nuvarande Journal of Vacuum Science & Technology A: Vakuum, ytor och filmer
- 1983–1990 Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
- 1991–nuvarande Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Del A
Del A omfattar tillämpad ytvetenskap , elektroniska material och bearbetning, fusionsteknik, plasmateknik, ytvetenskap , tunna filmer , vakuummetallurgi och vakuumteknik. Enligt Journal Citation Reports har tidskriften en 2015 års impact factor på 1,724.
Del B
Del B täcker vakuum- och plasmabearbetning av olika material, deras strukturella karakterisering, mikrolitografi och fysik och kemi för submikrometer- och nanometerstrukturer och -anordningar. Enligt Journal Citation Reports har tidskriften en 2014 års impact factor på 1,398.