Cornell NanoScale Science and Technology Facility

Cornell NanoScale Science and Technology Facility (CNF) är en vetenskaplig användaranläggning och renrum som ligger vid Cornell University i Ithaca, New York . CNF är en av de sexton medlemmarna i National Nanotechnology Coordinated Infrastructure (NNCI).

CNF startades som en del av ett National Science Foundation -initiativ 1977, och har därefter delvis fått stöd av flera andra NSF-program. Den får för närvarande cirka 20 miljoner dollar varje år i federal finansiering. 2004 flyttade CNF in i sin nuvarande anläggning, Duffield Hall, med stöd av 100 miljoner dollar i stöd från Cornell. Den innehåller nu 15 000 kvadratmeter renrum på nivå 1000 samt flera gånger mer laboratorieutrymme utan renrum. 2009 fick NNIN 10 miljoner dollar som en del av den amerikanska återhämtnings- och återinvesteringslagen .

CNF är en allmän användaranläggning, och även om många användare kommer från Cornell eller andra närliggande universitet, drar den också användare från ett brett utbud av universitet och företag runt om i världen. Ungefär 700 forskare använder anläggningen varje år, varav hälften är associerade med Cornell.

CNF används för forskning inom ett brett spektrum av områden som MEMS , mikrofluidik , nanomagnetik och bioelektronik . Det inkluderar tillverkningsverktyg för processer inklusive elektronstrålelitografi , fotolitografi , kemisk ångavsättning , elektronstråleavsättning och reaktiv jonetsning . Den innehåller också karaktäriseringsutrustning inklusive svepelektronmikroskop , ellipsometrar och sondstationer för elektrisk mätning.