Sfärisk yta akustisk våg (SAW) sensor

Sensorer för sfäriska akustiska ytvågor använder en typ av akustisk ytvåg (SAW) som färdas längs ytan av ett medium som uppvisar elasticitet med exponentiellt avtagande amplitud längs djupet. MEMS-IDT-teknik tillåter användning av SAW-vågor för att känna av olika gaser. Känslighet upp till 10 ppm väte med hjälp av en sfärisk Ball SAW-anordning erhålls.

Principer

Konventionella plana SAW-sensorer är baserade på principen att parametrarna som amplitud, hastighet och fas av ytvågor ändras vid adsorption av gasmolekyler. Begränsningen för plana SAW-baserade sensorer är att förändringen i ovan nämnda parametrar är mycket liten på grund av begränsad väg som erbjuds till ytakustiska vågor av plan sensor. I fallet med sfäriska sensorer gör ytakustiska vågor flera rundor längs ekvatorn för en boll som visas i fig, vilket ger längre vägar till ytakustiska vågor, varför ännu mindre förändringar i parametrar förstärks med flera varv, vilket ökar sensorns känslighet betydligt.