Roterande fickvärmare

En roterande fickvärmare , även kallad fickvärmare eller Kindervärmare, håller och roterar ett substrat under vakuumavsättning . Under rotation exponeras substratet sekventiellt för mer än en miljö, till exempel värme, syre, metallånga, etc. Roterande fickvärmare har använts i reaktiva förångningssystem för att skapa YBa2Cu3O7-skikt på plana halvledarskivor .

Magnesiumdiborid

Illustrationen till höger visar ett exempel på en fickvärmare som används för att avsätta ett lager av magnesiumdiborid på ett substrat. En vertikal axel (32) vrider en horisontell skiva (30) flera hundra varv per minut (RPM). Bilden visar två av flera substrat (14) fästa på undersidan av den roterande skivan. Substraten är fästa vid sina kanter, så att de flesta av undersidorna av substraten exponeras för ångan nedanför. Hela apparaten är innesluten i en kammare som hålls vid lågt tryck av en vakuumpump.

Magnesiumdiborid (MgB ₂ ) är ett joniskt fast ämne med supraledande egenskaper. Ångdeponering är svårt, eftersom ångtrycket för magnesium är mycket högre än bor. Fickvärmaren löser detta problem genom att tillhandahålla en separat miljö för varje material.

Spionavgift

I maj 2015 arresterade FBI- agenter professor Xiaoxing Xi , ordförande för Temple Universitys fysikavdelning, och anklagade honom för att dela scheman av en fickvärmare med kinesiska vetenskapsmän. Åklagarna lade ner alla anklagelser i september 2015 efter att det visades att de hade missuppfattat bevisningen och Xi har aldrig delat diagrammet över fickvärmaren med någon i Kina. Roterande fickvärmare är inte en begränsad teknik och uppfanns först av tyska fysiker Berberich, Prusseit och Kinder. Theva Dunnschichttechnik GmbH i Tyskland innehar patentet för fickvärmare.