PMUT

Piezoelektriska mikrobearbetade ultraljudsgivare ( PMUT ) är MEMS -baserade piezoelektriska ultraljudsgivare . Till skillnad från bulk piezoelektriska givare som använder tjocklekslägesrörelsen hos en platta av piezoelektrisk keramik såsom PZT eller enkristall PMN-PT, är PMUT baserade på böjningsrörelsen hos ett tunt membran kopplat med en tunn piezoelektrisk film, såsom PVDF . I jämförelse med bulk piezoelektriska ultraljudsgivare kan PMUT erbjuda fördelar såsom ökad bandbredd , flexibla geometrier, naturlig akustisk impedansmatchning med vatten, reducerade spänningskrav, blandning av olika resonansfrekvenser och potential för integration med stödjande elektroniska kretsar speciellt för miniatyriserade högfrekvensapplikationer .