Mikrooptomekaniska system
Mikrooptomekaniska system ( MOMS ), även skrivna som mikrooptomekaniska system , är en speciell klass av mikroelektromekaniska system (MEMS) som använder optiska och mekaniska, men inte elektroniska komponenter.
Se även
- Mikrooptoelektromekaniska system (MOEMS)
- Nanoelektromekaniska system (NEMS)
Kategorier: