Lista över MEMS-gjuterier
Listan nedan ger en omfattande översikt över företag som utvecklar och tillverkar MEMS- enheter (mikroelektromekaniska system). Dessa företag brukar hänvisas till begreppet gjuterier . Företagens utbud varierar beroende på vilket material som används, produktionsvolymen och storleken på de wafers som används för tillverkningen. Attributtypen är antingen för Integrated Device Manufacturer eller Pure-play affärsmodell.
Företag | Service | Substratmaterial | Produktionsvolym | Waferdiametrar (i tum) | Typ | Land med huvudkontor |
---|---|---|---|---|---|---|
Asia Pacific Microsystems, Inc. | MEMS Gjuteri | Kisel, safir, SOI, glas, kvarts, polymer, CMOS-wafers | Hög volymproduktion | 6 | Bara på skoj | Taiwan |
Atomica | Tillverkning av MEMS, biochip, sensorer och fotonik, inklusive skräddarsydd design, utveckling, prototypframställning och högvolymproduktion | Kisel, SOI, borosilikat, smält kiseldioxid, kvarts, glas, piezo och tekniska substrat | Produktion i hög volym | 6, 8 | Bara på skoj | Förenta staterna |
CEA-Leti | Anpassade MEMS, NEMS, BioMEMS: design, process, tillverkning, karakterisering och förpackning | Kisel, SOI, glas och CMOS-wafers. | FoU återkommande partier och pilotlinje | 8, 12 | Bara på skoj | Frankrike |
CSEM | MEMS design & processutveckling, Lab-to-Fab approach. Fokusområden inkluderar fotonik, mikrofluidik, klockkomponenter och tuffa miljöer. Bearbetning av litiumniobat och kiselkarbid är anmärkningsvärda teknologistenar. | Kisel, SOI, litiumniobat, kiselkarbid, smält kiseldioxid, kvarts, glas. | Prototypframställning, produktion av små och medelstora volymer | 6 | Bara på skoj | Schweiz |
Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT) | MEMS design & processutveckling, huvudsaklig Fraunhofer-webbplats för post-CMOS, MEMS, galvanisering, CMP | Kisel, SOI, glas, GaN och CMOS. | Proof-of-concept, prototypframställning, produktion i små volymer | 8 | Bara på skoj | Tyskland |
Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems (IMS) | MEMS design & processutveckling, Fraunhofer fokusplats för specialiserade MEMS-processer | Kisel, SOI. | Proof-of-concept, Prototyping, produktion av små volymer | 8 | Bara på skoj | Tyskland |
Hanking Electronics | Class 100 MEMS Foundry Services, MEMS IMUs (6 DoF accelerometrar/gyroskop), IoT-moduler och MEMS Design Services. Gjuteriprocesser inkluderar; Filmdeponering, metalldeposition, termisk, wafer bonding, etsningsprocesser inklusive DRIE och VHF, våta processer och wafer Level Packaging. | Kisel | Hög volymproduktion | 8 | IDM | Kina |
IMEC | Låg-medelvolym MEMS-tillverkning (CMOS-kompatibel), inkl. anpassad design, utveckling, efterbearbetning och prototypframställning | Si, SOI, smält kiseldioxid eller glas; efterbearbetning på CMOS-skivor (8-tum till 12-tum) | Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion; överföring till gjuteri för hög volym | 8, 12 | Bara på skoj | Belgien |
Micronit GmbH | Anpassad MEMS design och tillverkning | Kisel och SOI, borosilikatglas eller kvarts, strukturerad wafer | Prototypframställning och medelstor batchproduktion | 6, 8 | Bara på skoj | Tyskland |
LioniX International | Skräddarsydd MEMS-design, anpassad processutveckling, prototyper och produktion. | Kisel, SOI, smält kiseldioxid, borosilikatglas, termiskt oxiderat kisel. | Proof of concept, prototypframställning, pilotproduktion, små och medelstora volymer. | 4, 6 | Bara på skoj | Nederländerna |
Kartläggare | MEMS processutveckling och tillverkning | Kisel, SOI och olika glas, piezoelektriska material | Låg volym och prototyper | 4 | Bara på skoj | Ryssland |
Mikrofluidgjuteri | BioMEMS design och tillverkning | Kisel, Glas, SU8/PDMS, Polymer | FoU, Minivolymproduktion | IDM | Förenta staterna | |
nanoPHAB | Mikro- och nanotillverkning, nano-MEMS-tillverkning, ASIC | III-V-material, GaAs, InP, Si, Oxi-Nitrider, Glas, Polymerer, Multimaterial | Epi-tillväxt, Prototyping och Consultancy. Låg till medelvolym produktion. Bro till hög volym. | 2, 3, 4 | Bara på skoj | Nederländerna |
Nanoshift LLC | Kontrakterad FoU och tillverkning med lång erfarenhet av bearbetning och integration. Specialiserad på MEMS, mikrofluidik, kiselfotonik, TSV, CMOS-integration och andra framväxande teknologier. | Kisel, SOI, glas, flexsubstrat, polymer och andra material. | Proof of concept, processutveckling, prototyping, låg till medelvolym | 2, 3, 4 och 6 | IDM | Förenta staterna |
NEMS och MEMS Proto Fab (NMPF) | MEMS-tillverkning, mikrotillverkningstjänster | Kisel, glas, kvarts, SOI wafers | Låg till medelstor volym och prototyper | 2, 4 | Bara på skoj | Indien |
Philips | Anpassad MEMS och Micro Assembly, processdesign och tillverkning, certifierad för medicinsk utrustning | Kisel, SOI, glas, kvarts och CMOS-wafers. | Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion | 6, 8 | Bara på skoj | Nederländerna |
Robert Bosch GmbH | Skräddarsydd MEMS processutveckling och tillverkning. Valfritt: design, montering, test, integration | Kisel, SOI, smält kiseldioxid eller glas, efterbearbetning på 200 mm-CMOS-skivor | Prototypframställning, utveckling, medium och hög volym | 8 | IDM | Tyskland |
Safran Sensing Technologies | MEMS tillverkning | Kisel, SOI | Produktion i medelstor volym | 6 | IDM | Schweiz |
Semefab | MEMS tillverkning | Hög volymproduktion | 4, 6 | Bara på skoj | Storbritannien | |
Halvledarlaboratorium | CMOS & MEMS design, tillverkning och förpackning; mikrotillverkning | Silikon, SOI och diverse glas | Från lågvolymproduktion | 6,8 | Bara på skoj | Indien |
Silex Microsystems | MEMS processutveckling och tillverkning | Kisel, SOI, glas | Prototypframställning och högvolymproduktion | 8 | Bara på skoj | Sverige |
SINTEF MiNaLab | Anpassade MEMS, BioMEMS, piezoMEMS och mikrooptik. Modellering och design, processutveckling, testning och karakterisering. | Kisel, SOI, glas | Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion; överföring till gjuteri för hög volym | 6 | Bara på skoj | Norge |
Sony halvledare | MEMS utveckling och tillverkning | Kisel, SOI | Prototypframställning och högvolymproduktion | 6, 8 | IDM | Japan |
STMicroelectronics | MEMS (inklusive accelerometrar, gyroskop, digitala kompasser, tröghetsmoduler, trycksensorer, fuktsensorer och mikrofoner) | Kisel | Hög volymproduktion | IDM | Schweiz | |
Teledyne DALSA | MEMS design och tillverkning med integration av individuella gjuteriprocesser | Kisel och polykisel | Hög volymproduktion | 6, 8 | Bara på skoj | Kanada |
Teledyne Micralyne | MEMS design, tillverkning och förpackning; mikrotillverkning | Silicon, SOI och diverse glas | Från uppskalning till högvolymproduktion | 6 | Bara på skoj | Kanada |
Torn halvledare | IC-tillverkning | Kisel | Hög volymproduktion | 6, 8 | Bara på skoj | Israel |
TDK Tronics | MEMS design och tillverkning | Kisel, SOI och glaswafer | Prototypframställning, låg- och högvolymproduktion | 6 | Bara på skoj | Frankrike |
TSMC | MEMS design och tillverkning | Kisel | Hög volymproduktion | 6, 8, 12 | Bara på skoj | Taiwan |
uFluidix | MEMS och mikrofluidiktillverkning | Kisel, glas, PDMS | Låg-medelvolym produktion | Bara på skoj | Kanada | |
United Microelectronics Corporation | MEMS tillverkning | Kisel | Hög volymproduktion | 8 | Bara på skoj | Taiwan |
Wunderlichips | Fokus på PDMS-enheter, processutveckling | Kisel, SU8\PDMS | FoU, låg volym | 4, 6, 8 | Bara på skoj | Schweiz |
X-Fab | MEMS design och tillverkning | Silikon och glas | Hög volymproduktion | 6, 8 | Bara på skoj | Tyskland |