Lista över MEMS-gjuterier

Listan nedan ger en omfattande översikt över företag som utvecklar och tillverkar MEMS- enheter (mikroelektromekaniska system). Dessa företag brukar hänvisas till begreppet gjuterier . Företagens utbud varierar beroende på vilket material som används, produktionsvolymen och storleken på de wafers som används för tillverkningen. Attributtypen är antingen för Integrated Device Manufacturer eller Pure-play affärsmodell.

Företag Service Substratmaterial Produktionsvolym Waferdiametrar (i tum) Typ Land med huvudkontor
Asia Pacific Microsystems, Inc. MEMS Gjuteri Kisel, safir, SOI, glas, kvarts, polymer, CMOS-wafers Hög volymproduktion 6 Bara på skoj  Taiwan
Atomica Tillverkning av MEMS, biochip, sensorer och fotonik, inklusive skräddarsydd design, utveckling, prototypframställning och högvolymproduktion Kisel, SOI, borosilikat, smält kiseldioxid, kvarts, glas, piezo och tekniska substrat Produktion i hög volym 6, 8 Bara på skoj  Förenta staterna
CEA-Leti Anpassade MEMS, NEMS, BioMEMS: design, process, tillverkning, karakterisering och förpackning Kisel, SOI, glas och CMOS-wafers. FoU återkommande partier och pilotlinje 8, 12 Bara på skoj  Frankrike
CSEM MEMS design & processutveckling, Lab-to-Fab approach. Fokusområden inkluderar fotonik, mikrofluidik, klockkomponenter och tuffa miljöer. Bearbetning av litiumniobat och kiselkarbid är anmärkningsvärda teknologistenar. Kisel, SOI, litiumniobat, kiselkarbid, smält kiseldioxid, kvarts, glas. Prototypframställning, produktion av små och medelstora volymer 6 Bara på skoj  Schweiz
Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT) MEMS design & processutveckling, huvudsaklig Fraunhofer-webbplats för post-CMOS, MEMS, galvanisering, CMP Kisel, SOI, glas, GaN och CMOS. Proof-of-concept, prototypframställning, produktion i små volymer 8 Bara på skoj  Tyskland
Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems (IMS) MEMS design & processutveckling, Fraunhofer fokusplats för specialiserade MEMS-processer Kisel, SOI. Proof-of-concept, Prototyping, produktion av små volymer 8 Bara på skoj  Tyskland
Hanking Electronics Class 100 MEMS Foundry Services, MEMS IMUs (6 DoF accelerometrar/gyroskop), IoT-moduler och MEMS Design Services. Gjuteriprocesser inkluderar; Filmdeponering, metalldeposition, termisk, wafer bonding, etsningsprocesser inklusive DRIE och VHF, våta processer och wafer Level Packaging. Kisel Hög volymproduktion 8 IDM  Kina
IMEC Låg-medelvolym MEMS-tillverkning (CMOS-kompatibel), inkl. anpassad design, utveckling, efterbearbetning och prototypframställning Si, SOI, smält kiseldioxid eller glas; efterbearbetning på CMOS-skivor (8-tum till 12-tum) Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion; överföring till gjuteri för hög volym 8, 12 Bara på skoj  Belgien
Micronit GmbH Anpassad MEMS design och tillverkning Kisel och SOI, borosilikatglas eller kvarts, strukturerad wafer Prototypframställning och medelstor batchproduktion 6, 8 Bara på skoj  Tyskland
LioniX International Skräddarsydd MEMS-design, anpassad processutveckling, prototyper och produktion. Kisel, SOI, smält kiseldioxid, borosilikatglas, termiskt oxiderat kisel. Proof of concept, prototypframställning, pilotproduktion, små och medelstora volymer. 4, 6 Bara på skoj  Nederländerna
Kartläggare MEMS processutveckling och tillverkning Kisel, SOI och olika glas, piezoelektriska material Låg volym och prototyper 4 Bara på skoj  Ryssland
Mikrofluidgjuteri BioMEMS design och tillverkning Kisel, Glas, SU8/PDMS, Polymer FoU, Minivolymproduktion IDM  Förenta staterna
nanoPHAB Mikro- och nanotillverkning, nano-MEMS-tillverkning, ASIC III-V-material, GaAs, InP, Si, Oxi-Nitrider, Glas, Polymerer, Multimaterial Epi-tillväxt, Prototyping och Consultancy. Låg till medelvolym produktion. Bro till hög volym. 2, 3, 4 Bara på skoj  Nederländerna
Nanoshift LLC Kontrakterad FoU och tillverkning med lång erfarenhet av bearbetning och integration. Specialiserad på MEMS, mikrofluidik, kiselfotonik, TSV, CMOS-integration och andra framväxande teknologier. Kisel, SOI, glas, flexsubstrat, polymer och andra material. Proof of concept, processutveckling, prototyping, låg till medelvolym 2, 3, 4 och 6 IDM  Förenta staterna
NEMS och MEMS Proto Fab (NMPF) MEMS-tillverkning, mikrotillverkningstjänster Kisel, glas, kvarts, SOI wafers Låg till medelstor volym och prototyper 2, 4 Bara på skoj  Indien
Philips Anpassad MEMS och Micro Assembly, processdesign och tillverkning, certifierad för medicinsk utrustning Kisel, SOI, glas, kvarts och CMOS-wafers. Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion 6, 8 Bara på skoj  Nederländerna
Robert Bosch GmbH Skräddarsydd MEMS processutveckling och tillverkning. Valfritt: design, montering, test, integration Kisel, SOI, smält kiseldioxid eller glas, efterbearbetning på 200 mm-CMOS-skivor Prototypframställning, utveckling, medium och hög volym 8 IDM  Tyskland
Safran Sensing Technologies MEMS tillverkning Kisel, SOI Produktion i medelstor volym 6 IDM  Schweiz

 Norge

Semefab MEMS tillverkning Hög volymproduktion 4, 6 Bara på skoj  Storbritannien
Halvledarlaboratorium CMOS & MEMS design, tillverkning och förpackning; mikrotillverkning Silikon, SOI och diverse glas Från lågvolymproduktion 6,8 Bara på skoj  Indien
Silex Microsystems MEMS processutveckling och tillverkning Kisel, SOI, glas Prototypframställning och högvolymproduktion 8 Bara på skoj  Sverige

 Kina

SINTEF MiNaLab Anpassade MEMS, BioMEMS, piezoMEMS och mikrooptik. Modellering och design, processutveckling, testning och karakterisering. Kisel, SOI, glas Prototypframställning, låg- och medelvolymproduktion; överföring till gjuteri för hög volym 6 Bara på skoj  Norge
Sony halvledare MEMS utveckling och tillverkning Kisel, SOI Prototypframställning och högvolymproduktion 6, 8 IDM  Japan
STMicroelectronics MEMS (inklusive accelerometrar, gyroskop, digitala kompasser, tröghetsmoduler, trycksensorer, fuktsensorer och mikrofoner) Kisel Hög volymproduktion IDM  Schweiz
Teledyne DALSA MEMS design och tillverkning med integration av individuella gjuteriprocesser Kisel och polykisel Hög volymproduktion 6, 8 Bara på skoj  Kanada
Teledyne Micralyne MEMS design, tillverkning och förpackning; mikrotillverkning Silicon, SOI och diverse glas Från uppskalning till högvolymproduktion 6 Bara på skoj  Kanada
Torn halvledare IC-tillverkning Kisel Hög volymproduktion 6, 8 Bara på skoj  Israel
TDK Tronics MEMS design och tillverkning Kisel, SOI och glaswafer Prototypframställning, låg- och högvolymproduktion 6 Bara på skoj  Frankrike

 Japan

TSMC MEMS design och tillverkning Kisel Hög volymproduktion 6, 8, 12 Bara på skoj  Taiwan
uFluidix MEMS och mikrofluidiktillverkning Kisel, glas, PDMS Låg-medelvolym produktion Bara på skoj  Kanada
United Microelectronics Corporation MEMS tillverkning Kisel Hög volymproduktion 8 Bara på skoj  Taiwan
Wunderlichips Fokus på PDMS-enheter, processutveckling Kisel, SU8\PDMS FoU, låg volym 4, 6, 8 Bara på skoj  Schweiz
X-Fab MEMS design och tillverkning Silikon och glas Hög volymproduktion 6, 8 Bara på skoj  Tyskland