Grovbearbetningspump
En grovbearbetningspump är vilken vakuumpump som helst (typiskt mekanisk) som används för att initialt evakuera ett vakuumsystem, som ett första steg mot att uppnå högt vakuum eller ultrahögt vakuum . Termen "grovbearbetningspump" härrör från vakuumområdet den arbetar i, "grovvakuum", över 1x10 −3 torr (0,1 Pa ). Pumpar som arbetar i de höga vakuumområdena fungerar vanligtvis inte, eller fungerar bara ineffektivt, vid atmosfärstryck , medan pumpar som arbetar effektivt vid atmosfärstryck vanligtvis inte kan producera ett vakuum som är lägre än ungefär 1x10 −3 torr.
En övervägande för att välja en grovbearbetningspump är om pumpen använder smörjolja som är utsatt för vakuum. Denna oro för "backstreaming av kolväten" där pumpolja som en gas tar sig in i vakuumkammaren, har lett till oljefria pumpkonstruktioner på marknaden.
Typer
Två huvudtyper av grovbearbetningspumpar är oljetäta grovbearbetningspumpar och torra grovbearbetningspumpar. Inom de två kategorierna finns olika typer av konstruktioner med skillnader mellan dem baserat på underhållsfrågor, initialkostnader, pumplivslängd och vakuumnivå. Tidigt i tillverkningen var torrpumpar betydligt dyrare än oljebaserade pumpar, men med tiden har kostnadsgapet slutit sig.
Fördelarna och nackdelarna med var och en är som följer:
Oljetäta pumpar | ||
---|---|---|
Typ | Fördelar | Nackdelar |
Roterande skovel |
Lågt sluttryck Låg kostnad Lång pumplivslängd |
Backstreams olja Producera farligt avfall |
Rötter lob | Mycket hög pumphastighet |
Frekvent underhåll Kräver en spolgas Kräver en stödpump Måste vara helt horisontell |
Roterande kolv |
Hög volym Låg kostnad |
Buller Vibration Säkerhetsventil |
Torra grovbearbetningspumpar | ||
Skrolla |
Ren Lågt "torrt" sluttryck Lätt att underhålla Tyst Utvecklat från luftkonditioneringskompressor så tekniken är välkänd |
Begränsad lagerlivslängd Begränsad scroll-livslängd Genomsläpplig för små gaser Ej hermetiskt tillsluten Endast rena applikationer |
Diafragman |
Låg kostnad Tyst Lättservad |
Låg pumphastighet Högt sluttryck. Frekvent service krävs |
Krok & Klo |
Ingen backstreaming Lågt sluttryck |
Dyr |
Skruvrotor |
Lågt sluttryck Mindre underhåll än Hook & Claw |
Dyr |
Torr kolv | Lågt sluttryck | Dyr |
Sorption |
Rengör Inga rörliga delar |
Kräver flytande kväve Kräver regenerering Begränsad kapacitet |
Källor
- Essentials of a Vacuum System , Hasina Jamal, University of Maryland
- Comparison of roughing Pumps , Roy Schmaus, University of Alberta. Arkiverad från originalet den 27 maj 2006.