Everhart–Thornley detektor

Demonterad Everhard-Thornley-detektor från (Philips XL30), som visar (från vänster) +300V-galler och rör, transparent cylindrisk ljusledare, gyllene klämmutter och den interna monteringen med scintillatorskiva (+10 kV) på toppen. En vanlig fotomultiplikator skulle finnas på baksidan av ljusledaren och visas inte.

Everhart –Thornley-detektorn ( E–T-detektor eller ET-detektor ) är en sekundär elektron- och tillbakaspridd elektrondetektor som används i svepelektronmikroskop (SEM). Den är uppkallad efter dess designers, Thomas E. Everhart och Richard FM Thornley, som 1960 publicerade sin design för att öka effektiviteten hos befintliga sekundära elektrondetektorer genom att lägga till ett ljusrör för att bära fotonsignalen från scintillatorn inuti den evakuerade provkammaren. SEM till fotomultiplikatorn utanför kammaren. Dessförinnan hade Everhart förbättrat en design för en sekundär elektrondetektion av Vladimir Zworykin och Jan A. Rajchman genom att ändra elektronmultiplikatorn till en fotomultiplikator. Everhart–Thornley-detektorn med sin ljusledare och högeffektiva fotomultiplikator är den mest använda detektorn i SEM.

Detektorn består huvudsakligen av en scintillator inuti en Faraday-bur inuti mikroskopets provkammare. En låg positiv spänning appliceras på Faraday-buren för att attrahera de sekundära elektronerna med relativt låg energi (mindre än 50 eV per definition). Andra elektroner i provkammaren attraheras inte av denna låga spänning och kommer bara att nå detektorn om deras färdriktning tar dem dit. Scintillatorn har en hög positiv spänning (i karaktären 10 000 V) för att accelerera de inkommande elektronerna till den där de kan omvandlas till ljusfotoner. Riktningen för deras färd fokuseras på ljusledaren av en metallbeläggning på scintillatorn som fungerar som en spegel. I ljusröret färdas fotonerna utanför mikroskopets vakuumkammare till ett fotomultiplikatorrör för amplifiering.

Den sekundära elektrondetektorn ET kan användas i SEM:s tillbakaspridda elektronläge genom att antingen stänga av Faraday-buren eller genom att lägga på en negativ spänning till Faraday-buren. Men bättre tillbakaspridda elektronbilder kommer från dedikerade BSE-detektorer snarare än från att använda E–T-detektorn som en BSE-detektor.